Journal of vacuum science & technology B: Microelectronics processing and phenomena

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Titolo:	Journal of vacuum science & technology B: Microelectronics processing and phenomena
Pubblicazione:	New York : American Institute of Physics
Disciplina:	621.5/5/05
ISSN:	0734-211X
Titolo chiave (Periodici):	Journal of vacuum science & technology B: Microelectronics processing and phenomena
Altri titoli varianti:	Journal of vacuum science & technology B
Titolo autorizzato:	Journal of vacuum science & technology B: Microelectronics processing and phenomena
Formato:	Materiale a stampa
Livello bibliografico	Periodico
Lingua di pubblicazione:	Inglese
Record Nr.:	990008995850403321
Lo trovi qui:	Univ. Federico II
Opac:	Controlla la disponibilità qui

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