Semiconductor lithography : principles, practices and materials / Wayne M. Moreau
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| Autore: | Moreau, Wayne M. |
| Titolo: | Semiconductor lithography : principles, practices and materials / Wayne M. Moreau |
| Pubblicazione: | New York : Plenum Press, ©1988 |
| Descrizione fisica: | 931 p. : ill. ; 26 cm |
| Disciplina: | 621.381'531 |
| Soggetto non controllato: | Semiconduttori |
| Microlitografia elettronica | |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 990000488630403321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Collocazione: | 10 E I 337 |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |