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Autore: | Moreau, Wayne M. |
Titolo: | Semiconductor lithography : principles, practices and materials / Wayne M. Moreau |
Pubblicazione: | New York : Plenum Press, ©1988 |
Descrizione fisica: | 931 p. : ill. ; 26 cm |
Disciplina: | 621.381'531 |
Soggetto non controllato: | Semiconduttori |
Microlitografia elettronica | |
Formato: | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione: | Inglese |
Record Nr.: | 990000488630403321 |
Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
Collocazione: | 10 E I 337 |
Opac: | Controlla la disponibilità qui |